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扩散泵是目前获得高真空的更广泛、更主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
扩散泵油被电炉加热的时候，产生油蒸气顺着导流管经过伞形喷嘴向下面喷出。因为喷嘴外面有机械泵提供的真空(Pa)，故油蒸气流可喷出一长段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸发器，即靠油的蒸发 喷射 凝结重复循环来实现抽气。由进气口进入泵内的气体分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。由于射流具有高流速(约200m/s)，高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大(300～500)，故能有效地带走气体分子。气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。
